Un altro è il metodo di fase -}, metodo di deposizione di vapore chimica (Cav), noto anche come metodo di pirolisi, metodo a secco o metodo di combustione. Le sue materie prime sono generalmente tetracloruro di silicio, ossigeno (o aria) e idrogeno, che reagiscono ad alte temperature.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >SiO 2+4 hcl. L'aria e l'idrogeno sono rispettivamente sottoposti a pressurizzazione, separazione, raffreddamento e disidratazione, essiccazione in gel di silice, rimozione della polvere e filtrazione prima di essere inviati nel forno di idrolisi sintetica. Dopo che la materia prima del tetracloruro di silicio viene inviata alla colonna di distillazione per la distillazione, viene riscaldata ed evaporata nell'evaporatore e quindi inviata al forno di idrolisi sintetica con aria secca e filtrata come vettore. Il tetracloruro di silicio viene vaporizzato ad alte temperature (temperatura della fiamma 1000 - 1800 gradi) e quindi subisce gas - idrolisi di fase con una certa quantità di idrogeno e ossigeno (o aria) a circa 1800 gradi. A questo punto, le particelle di silice in fase gassosa generate sono estremamente fine e formano aerosol con gas, che sono difficili da catturare.
Pertanto, vengono prima aggregati in particelle più grandi in un aggregatore, quindi raccolti da un separatore di cicloni e inviati in un forno di deacidificazione. Il gas - silice di fase viene lavato con azoto - contenente aria fino a quando il valore del pH non è da 4 a 6, che è il prodotto finito